blueone Vakuumpumpen
blueone Vakuumpumpen mobilPlan
Die blueone Vakuumpumpe von mobilPlan
blueone 2
Die blueone 2 ist eine Schraubenvakuumpumpe mit modernster Schraubenvakuumpumpentechnologie. Mit dem speziell entwickelten Schraubenprofil und kompaktem Design sind diese Vakuumpumpen die ideale Lösung für Aufgaben im Loadlook Betrieb sowie in Prozessen wie der Messtechnik, Lithografie und physikalischer Dampf Abscheidung (PVD) und schnelles thermisches Tempern (RTA).
Aufgrund der glockenförmigen Auslegerkonstruktion ist der Doppelrotor mit Schraubenprofil mit variabler Steigung nur auf der Motorseite montiert, während das einzigartige „fliegende Lager“ -Design Einlasslager überflüssig macht. Hierdurch kommt das gepumpte Medium nicht mit den Lagern in Kontakt.
Fax: +49 6424 – 92 80 645
Mail: info@mobilplan-marburg.de
Wir freuen uns auf Ihre Anfragen.
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Die blueone 5 Vakuumpumpe
blueone 5 – Schraubenvakuumpumpe
Die blueone 5 Vakuumpumpen gehört zu der bewährten blueone Serie. Mit hochmoderner Schraubenvakuumpumpentechnologie und einem speziell entwickelten Schraubenprofil setzt die blueone 5 neue Maßstäbe für die Effizienz und macht diese Vakuumpumpe zur idealen Lösung im Bereich der Messtechnik, Lithographie, physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), schnelles thermisches Tempern (RTA) sowie in Lastverriegelungs- und Übergabekammern.
Aufgrund der raffinierten glockenförmigen Auslegerkonstruktion ist der Doppelrotor mit Schrauben mit variabler Steigung nur auf der Motorseite montiert, während das einzigartige “fliegende Lager” -Design Einlasslager unnötig macht. Dadurch kommt das gepumpte Medium nicht mit den Lagern in Kontakt. Dies gewährleistet eine saubere Vakuumerzeugung und ermöglicht die vollständige Rückgewinnung gepumpter Gase. Der direkte Gasweg zwischen Einlass und Auslass verhindert Toträume und stellt sicher, dass sich keine Prozessablagerungen in der Kompressionskammer befinden.
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